外延片清洗用到的清洗机配置得有溢流槽与干燥槽。威固特VGT-1509FH超声波清洗机共有15个功能槽，配置有循环过滤系统、浸泡系统、自动恒温系统等等；

结构功能：独立清洗槽，结构为四面锯齿型溢流，进水口进水，溢流到排液口将液体排掉；槽体顶部有加热管产后热源，FFU往下吹风；

超声波清洗机会通过超声波发生器生成超声波，超声波是一种高频声波，频率在人类听觉范围之外。

VGT-1307FH 红外窗口超声波清洗机为手动式超声波清洗机，用于光学件（红外镜片，尤以直径为 20-25 的窗口片为主）等零部件的超声波清洗。

VGT-1507FS为光学玻璃超声波清洗机，设备共有15个功能槽，配置有循环过滤系统、自动恒温系统、抛动系统、超声波清洗系统、抽风装置、溢流系统等。

线性渐变滤光片超声波清洗机设备优势：

高精度表面清洗滤光片除需要有合理的清洗工艺和配置外，更需要良好的脱水效果。滤光片表面如果有任何垢点或积水点，最后都将导致镀膜失败。