一、威固特VGT-1209FH超声波清洗机清洗涂布滤光片的优势及适用杂质：

该机型专为精密光学元件（如滤光片）设计，在清洗涂布滤光片时具有如下突出优势：

1、高频超声波（120KHZ）精准清洗：

高频空化效应更温和，适合硬质涂层滤光片（如SiO₂/TiO₂多层膜），避免低频（40KHz）的机械冲击风险。

可有效清除亚微米级颗粒（0.1-1μm），减少表面划伤。

2、智能恒温控制系统（20-60℃可调）：

避免清洗液温度波动导致滤光片热应力损伤（如胶合层开胶）。

高温（40-50℃）可提升对油脂类污染物的清洗效率。

3、多段式扫频技术：

自动切换频率（±5KHz波动），防止驻波效应造成的清洗不均匀。

特别适合大尺寸滤光片（如直径＞50mm）的全覆盖清洗。

4、定制化夹具与清洗篮：

滤光片可倾斜固定，避免边缘因超声波聚焦导致涂层剥落。

尼龙镀膜篮筐减少碰撞摩擦，保护增透膜。

适用的清洗杂质类型：

1、颗粒污染物：

抛光粉残留（二氧化铈、三氧化二铝颗粒，粒径0.5-5μm）。

环境粉尘（硅基颗粒、碳纤维碎屑）。

静电吸附颗粒（金属粉尘、PVD镀膜飞溅物）。

2、有机污染物：

指纹与皮脂（主要成分为甘油三酯、脂肪酸）。

切削液/防锈油（矿物油、合成酯类）。

胶带残胶（丙烯酸胶、硅胶）。

3、无机污染物：

轻微氧化层（如金属膜滤光片表面的自然氧化铝）。

工艺残留盐类（如镀膜前的清洗剂残留钠离子/钾离子）。

二、威固特VGT-1209FH超声波清洗机核心结构组成与功能：

清洗槽：

设计特点：

1、316L不锈钢材质。

2、斜面底部设计+泄流阀。

对涂布滤光片清洗的增益：防止颗粒沉积，便于排出纳米级污染物，斜面减少声波反射。

恒温系统：

设计特点：

1、PID控温（20-60℃±1℃）。

2、外接冷却循环水接口。

对涂布滤光片清洗的增益：防止温度骤变导致涂布滤光片热应力裂纹。

过滤循环：

设计特点：5μm精密过滤器+磁力泵循环。

对涂布滤光片清洗的增益：实时去除剥离的颗粒污染物，防止二次吸附。

控制系统：

设计特点：

1、触摸屏编制（可存储10组参数）。

2、过载保护/缺液报警。

对涂布滤光片清洗的增益：一键调用不同滤光片清洗方案。

三、威固特VGT-1209FH超声波清洗机针对各类滤光片清洗的特殊结构优化：

1、声场均匀性设计：

底部多振子布局：6组压电陶瓷换能器呈蜂窝状排列，确保槽内声强偏差<15%（行业标准通常>30%）。

应用场景：大尺寸滤光片（如8英寸晶圆级滤光片）全覆盖清洗。

2、防碰撞保护机制：

悬浮式篮筐：尼龙网篮通过弹簧悬挂，减少滤光片与槽壁碰撞风险。

案例适配：脆性滤光片（如氟化镁涂层）的批量化清洗。

3、杂质隔离系统；

双层排水结构：粗颗粒沉降至下层隔离仓，纳米颗粒通过侧壁过滤器截留。

数据支持：实则可减少90%以上的污染物回附（对比传统单层槽体）。