VGT-907FHA 为半导体配件自动智能式超声波清洗机，设备共有 9 个功能槽，配置有循环过滤系统、自动恒温系统、触摸屏系统、抛动系统、超声波清洗系统、预热箱系统、溢流系统、鼓泡系统、酸洗系统、IPA 脱水系统等。设备采用水溶剂洗涤、纯水漂洗、IPA 脱水，

为环保型清洗机；

清洗过程中工件通过超声波高频产生的“气化现象”的冲击和系统自身不停地作上下运动，增加了液体的摩擦，从而使工件表面的污垢能够迅速脱落，实现其高清洁度的目的。

本设备工件提升及横移机构：由自动智能式机械手完成

提升结构：

由电机带动链条传送实现工件的提升下降运动，电机采用日本“松下”伺服马达（速度变频可调），功率 1/2HP。

横移结构：

1. 电机采用日本“松下”伺服马达；

2. 速度变频可调。

优势：

1. 为保证清洗工件及清洗液的洁净，传动机构不位于洗净工件的上部，可避免输送时金属磨耗粉、润滑油等掉落。

2. 后部传动机构与前部溶剂清洗区域用隔板分开，防止后部传动粉尘进入前部。

本设备的超声IPA脱水漂洗槽的槽体结构：

1. 每槽设四面溢流口，溢水槽宽 35 mm;

2. 配备 IPA 灭火系统、防爆系统；

3. 各槽底部设排液阀；

4. 槽外设置抛动；

5. 加热功率：无;

6. 槽体采用内外双面焊接，以防微小杂物残留在缝隙中。

本设备的鼓泡系统：

1. 气源：最好接入氮气源；为有效防止“二次污染”，请谨慎接入空压机气源；如确要接入空压机气源，请务必接入干净、干燥、过滤后的气体；

2. 流量：流量可调；

3. 鼓泡管离槽体底部约 50mm 处，方便清理。

本设备的运输、安装调试及技术服务：

1. 运输：供方负责，需方负责设备到厂后的现场就位工作；

2. 供方负责安装调试，随设备到需方现场安装调试，供方配合需方试清洗及观察 3 天；

3. 提供从设备验收合格之日起 1 年的免费技术支持及服务，对非人为损坏或自然灾害等造成的损坏，保证省内 24 小时内响应，省外 48 小时内响应；保修期过后，实行以人工旅差费+ 材料费结算的优惠维修服务。