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威固特椭圆硒化锌抛光片超声波清洗机
发布时间:2026-09-02 09:11:16阅读:(1)

在椭圆硒化锌抛光片的生产中,超声波清洗机主要用于抛光完成后的清洗环节,即去除抛光膏残留、冷却油、灰尘等污染物。具体来说,它出现在以下两个关键节点:

一、抛光后、镀膜前的清洗:

抛光加工完成后,镜片表面会残留抛光膏、冷却油等有机物以及微小颗粒。超声波清洗通过高频振动产生的空化效应,以非接触方式高效剥离这些污染物,为后续镀膜提供洁净的基底表面。

二、镀膜后的清洗:

镀膜过程中可能产生光刻胶残留、靶材溅射颗粒、搬运过程中的尘埃等杂质。超声波清洗可去除这些亚微米级污染物,尤其对镜片边缘、凹槽等复杂结构能实现全方位清洁,避免了手工清洗的盲区。

威固特VGT-1509FH光学超声波清洗机清洗椭圆硒化锌抛光片的适配度较高,参数如下:

频率范围:40kHz-100kHz可调,兼顾顽固污染物去除与精密清洗。

温度控制:≤50℃,避免椭圆硒化锌抛光片热应力损伤。

核心优势:非接触清洗保护镀膜层,空化效应高效去除亚微米级颗粒和有机残留,清洗均匀性好。

整机架构:

设备共配置15个功能槽,各系统独立运行又协同工作,清洗部分与慢拉及热风干燥部分分别独立电器控制。

核心子系统包括:

超声波清洗系统

发生器:威固特自研第四代超声波发生器。

频率范围:40KHz-120KHz可调。

    低频(40-60KHz):适合去除重度油污、切削液等顽固污染物。

    高频(80-120KHz):适合精密光学元件的亚微米级颗粒清洗。

功率调节:50W—300W可调,避免功率过高损伤镀膜或脆性材料。

换能器:采用国际先进本多换能器。振力强、分布均匀,能量转换效率≥95%。

清洗原理:空化效应产生超过1000个大气压的瞬时高压,剥离工件表面纳米级颗粒。

抛动系统:

驱动方式:抛动电机通过偏心轮带动线性滑块上下运动。

抛动速度:3—10次/分钟可调。

作用:

消除超声波清洗死角。

增加工件与清洗液的相对摩擦,提升污染物剥离效率。

防止轻质工件在强超声环境下堆叠碰撞。

降低气泡屏蔽效应,确保超声能量均匀分布。

多级过滤与循环系统:

过滤精度:1-50μm可调。

配置:泵前可拆卸过滤网+泵后过滤器双重配置。

循环泵:采用SANSON磁力泵

油水分离:储液箱隔板分双腔结构,实现油污自动分离回收。

压力监控:过滤器前配压力仪表,堵塞时自动报警提示更换滤芯。

效果:清洗剂使用寿命显著延长,化学品消耗降低30%以上。

自动恒温系统:

加热功率:4.5kW 不锈钢加热管

温控范围:常温~100℃

控制方式:温度传感器实时反馈,配合冷却水电磁阀实现精确恒温。

慢拉脱水系统:

原理:利用高纯水(电阻率 ≥15MΩ·cm)在高温下表面张力最大的特性,工件缓慢倾斜提拉出水面时,水迅速收缩成球状滑落,实现无水渍残留

温控:OMRON 数显温控系统,范围常温~120℃

槽体结构:槽面设齿状溢流结构,槽外贴 10mm 保温棉

防二次附着:槽体上部设抽风小孔,将溢出水蒸汽抽走,防止水汽再次附着于提出的产品上。

IPA蒸汽浴洗与干燥系统:

清洗介质:异丙醇(IPA)蒸汽

加热方式:高温油外包间接加热,获得均匀蒸汽密度。

冷却系统:配备 10HP 冷水机,减少IPA挥发并保证干燥效果

作用:有效去除水渍和极性污染物,实现高端干燥。

顶部FFU洁净系统:

在烘干槽顶部加设 FFU(风机过滤单元),在上方形成局部正压

大部分水汽从缸面抽气口抽走,有效减少环境灰尘对洗净工件的二次污染。

从根本上提高产品合格率。

PLC智能控制系统:

人机交互界面,精准控制进排水、清洗温度、超声功率、处理时间、烘干参数等所有变量。

可预设和存储多套工艺配方,实现“一键切换”。

机械手采用伺服电机驱动,运行速度快、平稳、准确度高。

结构与材质:

清洗槽材质:316L不锈钢,耐腐蚀、寿命长。

机加结构:304不锈钢方通,外包PP板。

外壳:1.0mm 电解板喷粉,配亚克力活动门和观察窗。

超声波振板:投入式,能量衰减少,维护方便。

安全防护:集成CO ₂自动灭火装置和溢流报警。

清洗篮:专用设计,沥水性好。

洁净度:内设负压空气过滤器,清洗腔内洁净度高。